怎么讓無塵室遠(yuǎn)離微粒子污染

 進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、防靜電鞋、防靜電手套、口罩等。

    在電子元件成品的制作過程中，微粒子污染對成品率有嚴(yán)重影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，恪守“不攜入、不發(fā)生、不儲藏、除掉”四項基本原則以避免微粒子污染。

　　無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可簡單到達(dá)零水平，實(shí)踐的出產(chǎn)現(xiàn)場因為作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時所觸摸的零件資料的發(fā)塵等，在制作品周邊揚(yáng)起了少量的微粒子，因而造成了元件清洗面的粒子污染。 

無塵室內(nèi)該如何避免微粒子污染呢？應(yīng)恪守下列四項基本原則： 

　　1）不攜入 

　　在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有： 

　　作業(yè)員進(jìn)入無塵室前，機(jī)臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理； 

　　進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、防靜電鞋、防靜電手套、口罩等。 

　　通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無塵室。 

　　機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。 

　　無塵室中須全程穿戴密閉式**帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

　　2）不發(fā)生  

　　在控制*大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制**大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到*小限度應(yīng)采取以下對策： 

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)； 

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)； 

　　采用發(fā)塵小的潤滑油；  

　　機(jī)臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。 

　　3）不儲備 

　　若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險性。 

　　在*高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有**的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。 

　　控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。 

　　4）排除/除去 

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是**理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。