-
一次性袖套
-
無紡布活性炭口罩
-
超細纖維無塵擦拭布
-
防靜電工作服
-
無塵擦拭打印紙
-
防靜電膠皮臺桌墊
-
防靜電工作鞋
-
金佰利無塵擦拭紙
- 防靜電丁晴乳膠手套
-
尼龍PU涂掌手套
-
防靜電手指套
-
防靜電工作椅凳子
-
防靜電門簾
-
粘塵墊
-
粘塵滾筒
-
防靜電手腕帶
-
防靜電元件盒托盤
-
超細纖維眼鏡布
-
防靜電鑷子
-
無塵棉簽
-
防靜電毛刷
- 防靜電屏蔽袋
- 初中高效空氣過濾器
- 洗眼器
- PE保護膜
- 鞋套
- 粘塵布
- 無塵凈化拖把
- 酒精瓶
- 防靜電液
- 自動鞋套機
- 全自動擦鞋機
- 納米無痕膠帶
- 無塵手套
- 防靜電環(huán)氧樹脂地坪
- 防噪音耳塞
- 一次性薄膜手套
- 一次性雨衣雨披
- FFU層流罩過濾單元
- 無紡布防護服
- 砝碼式阻抗儀
- 人體綜合測試儀
- 人體靜電消除球
- 智能鞋覆膜機
- 潔凈室用品網(wǎng)
- 廣貨網(wǎng)上行
- 防靜電產(chǎn)品網(wǎng)
- 無塵室用品網(wǎng)
- 防護一次性口罩
- 東莞無塵布生產(chǎn)廠家
- 防靜電周轉(zhuǎn)車
- 東莞防靜電臺墊廠價直銷
- 東莞防靜電服生產(chǎn)廠家
- 東莞無塵紙生產(chǎn)廠家
- 東莞防靜電鞋生產(chǎn)廠家
- 鞋底覆膜機
-
金佰利系列
- 二代身份證閱讀器|身份證識別儀
- 離子風槍|離子風機|防靜電設(shè)備
-
周轉(zhuǎn)箱|防靜電周轉(zhuǎn)箱
-
中空板|防靜電中空板
文章詳情
無塵室潔凈度等級參照標準
日期：2025-06-08 13:05
瀏覽次數(shù)：18324
摘要：
無塵室潔凈度等級參照標準
半導體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因為需要一個無塵室。
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。由于奈米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：
